人民網(wǎng)北京11月16日電?第十三屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA 2016）于11月15日在北京國際會議中心開幕，其中，“材料與裝備技術(shù)”分會是本屆論壇的固定分會組成之一。記者了解，今年“材料與裝備技術(shù)”分會依舊兼顧前沿大勢與實(shí)用技術(shù)的搭配。中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟副秘書長王軍喜擔(dān)任分會中方主席，分會外方主席則由佐治亞理工大學(xué)電氣和計(jì)算機(jī)工程學(xué)院的教授Russell Dupuis擔(dān)任。
此外，分會報(bào)告嘉賓陣容也十分強(qiáng)大——特邀中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、北京大學(xué)、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、美國新澤西理工學(xué)院、荷蘭飛利浦、德國愛思強(qiáng)股份有限公司、美國維易科(Veeco)精密儀器有限公司、中微半導(dǎo)體、北京康美特科技有限公司等國內(nèi)外大學(xué)、研究機(jī)構(gòu)、知名設(shè)備及材料商嘉賓做演講報(bào)告。
會上，德國愛思強(qiáng)股份有限公司應(yīng)用工程CCS高級部門經(jīng)理Adam R Boyd介紹了使用Aixtron AIX R6 MOCVD設(shè)備大規(guī)模生產(chǎn)InGaN基藍(lán)光LED主題報(bào)告。來自另一設(shè)備巨頭美國維易科的市場營銷總監(jiān)Mark Mckee則在報(bào)告中介紹了通過高性能As/P MOCVD和離子束濺射技術(shù)加快光子發(fā)展情況，他表示，隨著人們對數(shù)據(jù)通信、傳感、紅外照明和光纖泵浦的需求增多，光子器件如VCSEL激光器、EE激光器等將越來越受歡迎。“未來五年現(xiàn)有和新增應(yīng)用將呈現(xiàn)兩位數(shù)增長，MOCVD技術(shù)和設(shè)備滿足了光子制造商對生產(chǎn)設(shè)備的需求，這是器件制造邁出的關(guān)鍵一步，MOCVD技術(shù)的性能要求和技術(shù)創(chuàng)新滿足了客戶日益增長的需求，這些創(chuàng)新必然推動(dòng)高收益和生產(chǎn)力，降低制造成本和增強(qiáng)設(shè)備制造商的盈利能力?！盡ark Mckee表示。
近年來，中國國產(chǎn)設(shè)備商也逐漸崛起，并形成一定的競爭優(yōu)勢。國產(chǎn)設(shè)備廠商中微半導(dǎo)體高級工藝工程師李洪偉、北方微電子公司PVD裝備事業(yè)部總經(jīng)理丁培軍均在會上分享了自身核心技術(shù)及設(shè)備研究進(jìn)展。
據(jù)悉，材料與裝備是半導(dǎo)體照明的重要基礎(chǔ)，更是產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大的“幕后英雄”，因此，材料與裝備性能的提升一直是業(yè)內(nèi)人士非常關(guān)注的話題。隨著半導(dǎo)體照明進(jìn)入新的發(fā)展階段，進(jìn)一步提高LED的發(fā)光效率和降低LED的制備成本則顯得尤為重要。在外延方法、能量轉(zhuǎn)換效率、熱能管理、生產(chǎn)設(shè)備和工藝過程控制方面，LED仍有很大提升空間。